| 发明名称 |
THIN FILM VAPOR GROWTH EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08139034(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19940295987 |
申请日期 |
1994.11.07 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MATSUNAMI TORU;KUBOTA KIYOSHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
