发明名称 DISPLACEMENT/INTERVAL MEASURING OPTICAL HEAD AND DEVICE AND IC LEAD DETECTING DEVICE USING THE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08136246(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940275098 申请日期 1994.11.09
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SEKIGUCHI SHINGO
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01B11/14;G01C3/06;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;(IPC1-7):G01C3/06 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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