发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08139203(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940277667 申请日期 1994.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OOUCHI SHIYUUICHIROU
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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