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<p>Mikromechanisch herstellbarer kapazitiv arbeitender Drucksensor, bei dem auf einem Silizium-Substrat (1) über einem Hohlraum (4) in einer Hilfsschicht (3) eine durch eine Membranschicht (5) gebildete Membran vorhanden ist und bei dem auf der dem Hohlraum (4) abgewandten Seite der Membran und in einem Abstand dazu eine durch eine Elektrodenschicht (8) mit darin vorhandenen Aussparungen (9) gebildete Elektrode als Gegenelektrode zu der elektrisch leitfähigen Membranschicht (5) vorhanden ist. Bei einer Erhöhung des äußeren Druckes kann durch Anlegen einer Spannung zwischen der Membranschicht (5) und der Elektrodenschicht (8) eine Auslenkung der Membran in Richtung zum Substrat unterbunden werden und aus der dafür erforderlichen elektrischen Spannung die Größe des Druckes bestimmt werden.</p> |
