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发明名称
Verfahren zum Verbinden von zwei scheibenförmigen Körpern aus Materialien unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten und dessen Verwendung
摘要
申请公布号
DE3917765(C2)
申请公布日期
1996.05.30
申请号
DE19893917765
申请日期
1989.05.31
申请人
SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE
发明人
KUHNERT, REINHOLD, DR., 8000 MUENCHEN, DE;SCHWARZBAUER, HERBERT, DR., 8000 MUENCHEN, DE
分类号
B23K20/02;B23K20/16;H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):B23K20/02;B23K20/14;H01L21/58;H01L23/48
主分类号
B23K20/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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