发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 RU2061279(C1) 申请公布日期 1996.05.27
申请号 RU19930032590 申请日期 1993.06.22
申请人 SAMSONENKO BORIS N;PANASENKO PETR V 发明人 SAMSONENKO BORIS N;PANASENKO PETR V
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址