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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5341507(B1)
申请公布日期
1978.11.04
申请号
JP19710021770
申请日期
1971.04.09
申请人
发明人
分类号
G03F7/20;H01L21/302
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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