| 发明名称 |
LIQUID THIN FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08117661(A) |
申请公布日期 |
1996.05.14 |
| 申请号 |
JP19940264963 |
申请日期 |
1994.10.28 |
| 申请人 |
NAKAYAMA YASUKI;JAPAN PHOTONICS:KK |
发明人 |
NAKAYAMA YASUKI;UENO MINORU;YAMADA HIDETADA |
| 分类号 |
F15D1/00;B05B1/06;B05B17/08;(IPC1-7):B05B17/08 |
主分类号 |
F15D1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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