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经营范围
发明名称
ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH08115698(A)
申请公布日期
1996.05.07
申请号
JP19940250351
申请日期
1994.10.17
申请人
HITACHI LTD;HITACHI INSTR ENG CO LTD
发明人
TAMORI TOMOHIRO;MIYAMOTO TAKUJI
分类号
H01J37/22;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/22
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
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