发明名称 Verfahren zur Herstellung einer supraleitenden Dünnschicht aus Oxydverbindungen.
摘要
申请公布号 DE69205645(T2) 申请公布日期 1996.05.02
申请号 DE1992605645T 申请日期 1992.07.29
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;NAKANISHI, HIDENORI, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;TANAKA, SABURO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP;ITOZAKI, HIDEO, C/O ITAMI WORKS OF SUMITOMO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 C23C14/28;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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