避免复晶矽阻値变化的方法

摘要

一种避免复晶矽阻值变化的方法，避免复晶矽阻值受到某些后续制程如电浆蚀刻的影响，产生下降的现象。可适用于一高复晶矽阻值上，其包含一负载区和导体区。首先，形成一绝缘层于高阻值复晶矽上，在于此绝缘层上形成一金属层，能够完全遮蔽下方的高阻值复晶矽之负载区。定义此金属层的光罩，可以利用定义高且值复晶矽的负载光罩来实施，无需增加额外的成本。