发明名称 |
METHOD OF FORMATION OF SEMICONDUCTOR-DIELECTRIC STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1797411(C) |
申请公布日期 |
1996.04.20 |
申请号 |
SU19904869366 |
申请日期 |
1990.09.26 |
申请人 |
NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "INTEGRAL" |
发明人 |
KVASOV N.T.;SOLOGUB L.V. |
分类号 |
H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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