发明名称 METHOD OF FORMATION OF SEMICONDUCTOR-DIELECTRIC STRUCTURE
摘要
申请公布号 RU1797411(C) 申请公布日期 1996.04.20
申请号 SU19904869366 申请日期 1990.09.26
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "INTEGRAL" 发明人 KVASOV N.T.;SOLOGUB L.V.
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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