发明名称 FORMATION OF THIN FILM ELECTRICALLY CONDUCTIVE LAYER AND CERAMIC HEATER MADE BY THE SAME METHOD
摘要
申请公布号 JPH08100262(A) 申请公布日期 1996.04.16
申请号 JP19940236796 申请日期 1994.09.30
申请人 SHARP CORP 发明人 ARIGA TORU;YASHIMA HIDEO
分类号 H05B3/14;C04B35/64;C23C16/32;(IPC1-7):C23C16/32 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人
主权项
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