| 发明名称 |
System for the real-time scheduling and loading of look-up tables for a patterning device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0444797(B1) |
申请公布日期 |
1996.04.10 |
| 申请号 |
EP19910301182 |
申请日期 |
1991.02.13 |
| 申请人 |
MILLIKEN RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
COX, STEVEN WAYNE |
| 分类号 |
D06P5/00;D06B11/00;G05B15/02;(IPC1-7):D06B11/00 |
主分类号 |
D06P5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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