发明名称 WAVEFRONT SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0886689(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940221970 申请日期 1994.09.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUZUKI HIROSHI;MATSUSHITA TADASHI;WAKABAYASHI SATOSHI
分类号 G01J1/00;G01M11/00;G02B23/02;(IPC1-7):G01J1/00 主分类号 G01J1/00
代理机构 代理人
主权项
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