发明名称 Direct integration of sensing mechanisms with single crystal based micro-electric-mechanics systems
摘要
申请公布号 IL116536(D0) 申请公布日期 1996.03.31
申请号 IL19950116536 申请日期 1995.12.24
申请人 HARUNIAN DAN 发明人
分类号 B81B3/00;G01L1/18;G01L9/00;G01P15/12;(IPC1-7):H01L 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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