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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0834212(B2)
申请公布日期
1996.03.29
申请号
JP19900135058
申请日期
1990.05.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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