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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE19518947(A1) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE1995118947 申请日期 1995.05.23
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 FUJII, NARIAKI, ITAMI, HYOGO, JP;KIMURA, TATSUYA, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01S5/00;H01S5/02;H01S5/042;H01S5/227;H01S5/30;(IPC1-7):H01S3/19 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
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