发明名称 Mit glasigem Kohlenstoff überzogene Graphit-Spannvorrichtung zum Gebrauch bei der Erzeugung von polykristallinem Silizium
摘要
申请公布号 DE69208303(D1) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE19926008303 申请日期 1992.08.26
申请人 UCAR CARBON TECHNOLOGY CORP., DANBURY, CONN., US 发明人 LEWIS, IRWIN CHARLES, STRONGSVILLE OHIO 44136, US;MILLER, DOUGLAS J.(NMN), NORTH OLMSTED OHIO 44070, US;PIRRO, TERRENCE ANTHONY, CLEVELAND OHIO 44111, US
分类号 C01B33/02;C04B41/87;C23C16/24;C30B29/06;(IPC1-7):C23C16/24;C01B31/02;C23C18/02;C23C18/12 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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