发明名称 BEAM DIVIDING DEVICE
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Teilung eines Lichtstrahles in zwei Teilstrahlen. Die Vorrichtung besteht aus einer stationären Lichtquelle (1) zur Erzeugung eines Lichtstrahles (5), einem ersten Polarisations-Umsetzer (9) und einer um die optische Achse (3) rotierenden Ablenkeinheit (2), in der aus dem Lichtstrahl (5) zwei Teilstrahlen (6, 7) erzeugt werden. Die Ablenkeinheit (2) enthält einen Polarisations-Strahlteiler (12), einen nachgeschalteten zweiten Polarisations-Umsetzer (13) und einen Reflektor (14), der vorzugsweise als Prisma ausgebildet ist. In der Ablenkeinheit (2) wird eine automatische Korrektur von Positionsversätzen der Teilstrahlen (6, 7) durchgeführt, indem mittels Verstellantriebe (23) der Polarisations-Strahlteiler (12) bzw. die Ablenkeinheit (2) gekippt und/oder die Linsen (15, 16) verschoben werden. Die Positionsversätze der Teilstrahlen (6, 7) werden in ihrer Fokusebene gemessen, und es werden entsprechende Korrekturwerte mittels eines Übertragers (24) an die Verstellantriebe (23) in der rotierenden Ablenkeinheit (2) übermittelt.</p>
申请公布号 WO1996009565(A1) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE1995001252 申请日期 1995.09.13
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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