| 摘要 |
Использование: технология микроэлектроники, производство микросхем. Сущностьизобретения:жидкостную химическую обработку маски после проявлениявыполняют в водном растворе пер- манганата калия и ацетона при следующем соотношении компонентов, мас.%: КМпО4 2 - 6; СНзСОСНз 35 - 45, вода - остальноедо 100% в течение 0,5 - 5 мин при комнатной температуре, что обеспечивает экологическую безопасность процесса. 1 табл. я d 00 о Јь Ы К ы
|
