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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR BONDING
摘要
申请公布号 JPH0870013(A) 申请公布日期 1996.03.12
申请号 JP19940227383 申请日期 1994.08.30
申请人 CASIO COMPUT CO LTD 发明人 FUJITA YOSHITAKA
分类号 H01L21/60;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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