| 发明名称 |
PRODUCTION OF MICRO MACHINERY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0862517(A) |
申请公布日期 |
1996.03.08 |
| 申请号 |
JP19950154928 |
申请日期 |
1995.06.21 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
JIEEMUZU SHII BEIKAA;SUKOTSUTO EICHI PURENGURU |
| 分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G02B26/08;G03F7/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G02B26/08;H01L21/306 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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