发明名称 CHARACTERISTIC EVALUATING DEVICE OF SEMICONDUCTOR CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR CIRCUIT DEVICE HAVING THE EVALUATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0862295(A) 申请公布日期 1996.03.08
申请号 JP19940219546 申请日期 1994.08.22
申请人 RICOH CO LTD 发明人 SHINDO YASUYUKI
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H03K19/00;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
地址