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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING BUILDUP RATE OF FILM DURING PHYSICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0860361(A) 申请公布日期 1996.03.05
申请号 JP19950012752 申请日期 1995.01.30
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 JIEIMU NARUMAN
分类号 C23C14/54;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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