发明名称 Styrene/maleates terpolymers.
摘要 <p>Terpolymers of styrene, mono-iso-butyl maleate and mono-2-(n-butoxy)ethyl maleate wherein the ratio of styrene units to maleate units is in the range of about 1:1 to about 1.6:1 and the ratio of mono-iso-butyl maleate units to mono-2-(n-butoxy)ethyl maleate is in the range of about 3:2 to about 1:3. The terpolymers are useful as alkali soluble binders for photoresist compositions.</p>
申请公布号 GR3018109(T3) 申请公布日期 1996.02.29
申请号 GR19950403225T 申请日期 1995.11.16
申请人 MONSANTO COMPANY 发明人 LEE, KANG IN
分类号 C07C69/60;C08F212/00;C08F212/06;C08F212/08;C08F222/10;C08L25/06;G03F7/032;G03F7/033;H01L21/027;(IPC1-7):C08F212/08;G03F7/038 主分类号 C07C69/60
代理机构 代理人
主权项
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