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发明名称 Nanometer Bereichssonde für ein auf atomaren Kräften beruhendes Mikroskop, und Verfahren zu dessen Herstellung
摘要
申请公布号 DE69115847(D1) 申请公布日期 1996.02.08
申请号 DE1991615847 申请日期 1991.10.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 CLABES, JOACHIM G., YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10598, US;HATZAKIS, MICHAEL, CHAPPAGUA, N.Y. 10514, US;LEE, KAM L., PUTNAM VALLEY, N.Y. 10579, US;PETEK, BOJAN, CROTON-ON-HUDSON, N.Y. 10520, US;SLONCZEWSKI, JOHN C., KATONAH, N.Y. 10536, US
分类号 G01B7/34;B81B1/00;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/54;G01Q70/12;G01R1/067;G01R1/07;H01J37/28;(IPC1-7):G01R1/067;G01R31/315;G01N27/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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