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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0837182(A) 申请公布日期 1996.02.06
申请号 JP19940171282 申请日期 1994.07.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 BABA SHINJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312;H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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