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经营范围
发明名称
PROCESSING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0831755(A)
申请公布日期
1996.02.02
申请号
JP19940180670
申请日期
1994.07.08
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK
发明人
KAZAMA KOICHI;KUBOTA MASAMI
分类号
C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L23/467;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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