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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0810303(B2) 申请公布日期 1996.01.31
申请号 JP19900253231 申请日期 1990.09.21
申请人 发明人
分类号 G02F1/1345;G09F9/30;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/134 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人
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