| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR CLEANING HIGH VOLTAGE DISCHARGE ELECTRODE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH088039(A) |
申请公布日期 |
1996.01.12 |
| 申请号 |
JP19940133307 |
申请日期 |
1994.06.15 |
| 申请人 |
TOSHIBA CHEM CORP;HUEGLE ELECTRON KK |
发明人 |
FUKUMOTO HIROAKI;KOJIMA MASAO;NAKAJIMA MOCHIMATSU |
| 分类号 |
H01T19/00;(IPC1-7):H01T19/00 |
主分类号 |
H01T19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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