发明名称 CMOS INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 RU2051443(C1) 申请公布日期 1995.12.27
申请号 SU19925024062 申请日期 1992.01.27
申请人 AGRICH YURIJ VLADIMIROVICH 发明人 AGRICH YURIJ V;IVANKOVSKIJ MAKSIM MAKSIMOVICH;SULZHITS SERGEJ ANTONOVICH;MUKHIN ALEKSEJ ALEKSEEVICH
分类号 H01L21/8228;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L21/8228
代理机构 代理人
主权项
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