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发明名称 FILTER FOR LIQUID CHEMICAL SUCH AS RESIST, CLEANING SOLUTION, AND LIQUID CHEMICAL-SUPPLYING DEVICE USING IT
摘要
申请公布号 JPH07335517(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940122131 申请日期 1994.06.03
申请人 SONY CORP 发明人 TANIGAWA KAZUTO
分类号 G03F7/16;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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