发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07335765(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940128440 申请日期 1994.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 MANO MICHIO
分类号 H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址