| 发明名称 |
Method for detection of defects in the inspection of structured surfaces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2286670(B) |
申请公布日期 |
1995.12.13 |
| 申请号 |
GB19950006207 |
申请日期 |
1995.03.27 |
| 申请人 |
* JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
DIETMAR * KOLLHOF;JOACHIM * WIENECKE;KARL-HEINZ * FRANKE;MICHAEL * GRAF;HEIKO * KEMPE |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01R31/308;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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