| 发明名称 |
PLASMA CVD DEVICE AND CLEANING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07321054(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19940115370 |
申请日期 |
1994.05.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
DAIHISA AKIRA;OKURA SEIJI |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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