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发明名称 TREATING DEVICE AND WASHING METHOD FOR RING BODY OR BAFFLE BOARD USED IN THE TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07321097(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940133638 申请日期 1994.05.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KOMINO MITSUAKI
分类号 H01L21/302;B01J3/02;C23C16/509;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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