| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07321055(A) |
申请公布日期 |
1995.12.08 |
| 申请号 |
JP19940115648 |
申请日期 |
1994.05.27 |
| 申请人 |
HANDOTAI PROCESS KENKYUSHO:KK |
发明人 |
MAEDA KAZUO |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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