发明名称 GAAS SUBSTRATE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07302739(A) 申请公布日期 1995.11.14
申请号 JP19940094588 申请日期 1994.05.09
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KUNITAKE EIICHI
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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