发明名称 CARRYING DEVICE OF BOARD
摘要
申请公布号 JPH07297256(A) 申请公布日期 1995.11.10
申请号 JP19940089550 申请日期 1994.04.27
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SATO SEIYA
分类号 B65G49/07;G11B7/26;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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