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发明名称 Method for processing a thin film.
摘要
申请公布号 EP0646950(A3) 申请公布日期 1995.11.08
申请号 EP19940113468 申请日期 1994.08.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 MAEGAWA, SHIGEKI;YOSHIOKA, TATSUO;KAWAMURA, TETSUYA;MIYATA, YUTAKA
分类号 H01L21/20;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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