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发明名称 MICROWAVE ENERGIZED PROCESS FOR THE PREPARATION OF HIGH QUALITY SEMICONDUCTOR MATERIAL.
摘要
申请公布号 EP0680384(A1) 申请公布日期 1995.11.08
申请号 EP19940909452 申请日期 1994.01.13
申请人 UNITED SOLAR SYSTEMS CORPORATION 发明人 GUHA, SUBHENDU;YANG, CHI, C.;XU, XIXIANG
分类号 B05D5/12;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):B05D3/06 主分类号 B05D5/12
代理机构 代理人
主权项
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