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发明名称 PROCESS CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPH07281703(A) 申请公布日期 1995.10.27
申请号 JP19940073043 申请日期 1994.04.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAKEHI ATSUYUKI
分类号 F01D21/00;G05B7/02;G05B9/02;G05B11/36;G05B13/02;G05B15/02;(IPC1-7):G05B9/02 主分类号 F01D21/00
代理机构 代理人
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