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发明名称 Beschichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE4413655(A1) 申请公布日期 1995.10.26
申请号 DE19944413655 申请日期 1994.04.20
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 MAHLER, PETER, 63512 HAINBURG, DE;SCHERER, MICHAEL, DR., 63517 RODENBACH, DE;STANG, WOLFGANG, 63699 KEFENROD, DE;GESCHE, ROLAND, DR., 63500 SELIGENSTADT, DE
分类号 C23C14/34;C23C14/40;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/40;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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