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发明名称 OPTICAL-ABSORPTION METHOD FOR CONTROLLING THE MASS FLOW OF A GAS COMPONENT IN A GASMIXTURE, AND USE OF THE METHOD.
摘要
申请公布号 EP0582580(B1) 申请公布日期 1995.10.25
申请号 EP19920906749 申请日期 1992.02.27
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 INTEMANN, ANDREAS;KOERNER, HEINRICH;HIEBER, KONRAD
分类号 G01F1/704;G01F1/86;G01F1/00;G01F1/66;G01N21/37;G01N21/59;H01L21/00;(IPC1-7):G01F1/66 主分类号 G01F1/704
代理机构 代理人
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