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发明名称 SPUTTERING TARGET ASSEMBLY
摘要
申请公布号 JPH07278807(A) 申请公布日期 1995.10.24
申请号 JP19940089096 申请日期 1994.04.04
申请人 JAPAN ENERGY CORP;HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 ANAMI JUNICHI;KANANO OSAMU;YAMAMOTO MASASHI;NISHIHARA SHINJI;ABE TOSHIHIKO;YOSHIURA AIMEI
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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