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发明名称
Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung.
摘要
申请公布号
DE3854455(D1)
申请公布日期
1995.10.19
申请号
DE19883854455
申请日期
1988.07.15
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
OKUMURA, KATSUYA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号
H01L29/78;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/423;(IPC1-7):H01L29/08;H01L29/10
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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