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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Abschirmung einer Wertstückhaltevorrichtung von schädlichen Einflüssen während der Verarbeitung des Werkstückes.
摘要
申请公布号 DE69300177(T2) 申请公布日期 1995.10.19
申请号 DE19936000177T 申请日期 1993.03.22
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 MUMOLA, PETER B., HUNTINGTON, CT 06484, US
分类号 C23F1/08;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/68;H01L21/683;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
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