正性辐射线敏感涂层液

摘要

本发明描述了一种正性辐射线敏感的涂层液，其中含有辐射线敏感的化合物(例如，1，2-萘醌二叠氮化物)或者辐射线敏感的化合物的组合物(例如由至少具有一个可以被酸裂解的C-O-C键的化合物，与辐射线能使之形成强酸的化合物组成的)，以及有机溶剂或者有机溶剂混合物作为基本成分。所说的溶剂混合物，至少大部分是由1，2-丙二醇的单C1烷基醚至单C4烷基醚所组成。与已知的正性光致抗蚀溶液相比，这个溶液的毒性小，具有较好的涂层均化性。

主权项

1.正性辐射敏感涂层液，其中含有：a)10-50％(重量)的总固体物质，该总固体物质相对于该固体物质的总重量计含3％-50％(重量)辐射线敏感的化合物或者辐射线敏感的化合物的组合物，该组合物含0.1％至10％(重量)可辐射形成酸的化合物和8％至65％(重量)可被该酸裂解的化合物，以及b)90％-50％(重量)的有机溶剂或者有机溶剂混合物，相对于该溶剂或溶剂混合物的总重量计，所说的溶剂或溶剂混合物含65-100％(重量)1，2-丙二醇的单一C1-C4-烷基醚。