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发明名称 SINGLE CRYSTAL PULLING UP DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07267777(A) 申请公布日期 1995.10.17
申请号 JP19940054235 申请日期 1994.03.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOJIMA MASAKATSU
分类号 C30B15/14;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/14 主分类号 C30B15/14
代理机构 代理人
主权项
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